| 摘要 |
본 발명은 기판처리시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판의 표면에 증착공정 등의 기판처리를 수행하는 기판처리시스템 및 기판처리시스템의 언로드락모듈에 관한 것이다. 본 발명은 트레이에서 기판처리가 완료된 하나 이상의 기판을 언로딩하고 기판처리가 수행될 하나 이상의 기판을 로딩하는 기판교환모듈과; 상기 기판교환모듈로부터 기판처리가 수행될 하나 이상의 기판이 적재되는 트레이를 공급받는 로드락모듈과; 상기 로드락모듈로부터 기판이 적재된 트레이를 전달받아 트레이에 적재된 기판에 대하여 기판처리를 수행하는 공정모듈과; 기판처리가 완료된 기판이 적재된 트레이를 상기 공정모듈로부터 전달받아 상기 기판교환모듈로 전달할 수 있도록 상기 트레이를 상측방향 및 하측방향 중 적어도 하나의 방향으로 이동시키는 언로드락모듈과; 상기 언로드락모듈로부터 기판이 적재된 트레이를 전달받아 상기 기판교환모듈로 전달하는 트레이궤환모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템을 개시한다. |
