发明名称 |
イオン注入装置のための蒸気圧縮冷却チャック |
摘要 |
Aspects of the present invention relate to ion implantation systems that make use of a vapor compression cooling system. In one embodiment, a thermal controller in the vapor compression system sends refrigeration fluid though a compressor and a condenser according to an ideal vapor compression cycle to help limit or prevent undesired heating of a workpiece during implantation, or to actively cool the workpiece. |
申请公布号 |
JP5934178(B2) |
申请公布日期 |
2016.06.15 |
申请号 |
JP20130500047 |
申请日期 |
2011.03.16 |
申请人 |
アクセリス テクノロジーズ, インコーポレイテッド |
发明人 |
リー,ウィリアム;プロヒット,アッシュウィン;ラフォンテーヌ,マーヴィン |
分类号 |
H01L21/265;B23Q3/15;H01L21/683;H02N13/00 |
主分类号 |
H01L21/265 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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