具有反射镜结构的LED发光器件及其制备方法

摘要

本发明公开了一种具有反射镜结构的LED发光器件，包括具有缓冲层的半导体衬底外延片，半导体衬底上预定区域内形成有透明导电层，缓冲层、透明导电层上方具有金属反射镜结构与电极，缓冲层、透明导电层上方自下而上形成有第一钝化层、第一氧化层、金属反射镜结构、第二氧化层、第二钝化层的层状结构，第一氧化层用于增加第一钝化层、金属反射镜结构之间粘附性，第二氧化层用于增加金属反射镜结构与第二钝化层之间粘附性。本发明在LED表面镀一层相应金属氧化层作为增加金属反射镜在LED表面的附着性的覆层,同时由于这层金属氧化物覆层与后续的钝化层的粘附力更好，从而增加了钝化层与金属反射镜之间的粘附性，与现有技术相比提高了LED芯片的整体稳定性。

主权项

一种具有反射镜结构的LED发光器件，包括具有缓冲层的半导体衬底外延片，所述的半导体衬底上预定区域内形成有透明导电层，所述的缓冲层、透明导电层上方具有金属反射镜结构与电极，其特征在于：所述的缓冲层、透明导电层上方自下而上形成有第一钝化层、第一氧化层、金属反射镜结构、第二氧化层、第二钝化层的层状结构，所述的第一氧化层用于增加第一钝化层、金属反射镜结构之间粘附性，所述的第二氧化层用于增加金属反射镜结构与第二钝化层之间粘附性，所述的第一氧化层、第二氧化层的材料为所述的金属反射镜结构材料的对应氧化物，所述的第一钝化层、第二钝化层的材料包括SiO₂、SiN。