用于修正离线示教数据的机械手及方法

摘要

本发明提供了一种用于修正离线示教数据的机械手及方法，通过在片叉上设置假硅片，在假硅片中嵌入有用于发出探测信号的无线收发器、对探测信号敏感并将探测信号转换为电信号的探测器、以及将电信号转换为数值的转换器，并且无线收发器的设置避开片叉的遮挡，使得无线收发器从假硅片上方或假硅片下方向外发出探测信号，从而在取放片过程中实时向片叉上方或下方的探测，并且及时修正离线示教数据，确保安全取放片操作；并且，在片叉上设置假硅片的方式简单易行，降低了工艺难度。

主权项

一种用于修正离线示教数据的机械手，安装于半导体设备中，半导体设备还包括用于放置多层硅片的硅片承载装置，所述硅片承载装置具有用于承载硅片的支撑部件，所述机械手用于拾取所述硅片承载装置的硅片或将硅片放置于所述硅片承载装置中；所述机械手具有用于承载硅片的片叉，其特征在于，所述片叉上表面具有假硅片，所述假硅片嵌入有用于发出探测信号的无线收发器、对所述探测信号敏感并将所述探测信号转换为电信号的探测器、以及将所述电信号转换为数值的转换器；所述无线收发器从所述假硅片上方或所述假硅片下方向外发出探测信号，所述片叉不遮挡所述无线收发器。