用于高温应用的衬里材料或反射材料

摘要

本发明涉及衬里材料或反射材料及其制备方法，所述材料特别用于在腐蚀性气氛中的高温应用。该材料包括红外线反射层，在该红外线反射层上沉积有氮化物层作为屏障层。

主权项

用于制备半导体构造元件的带有含硫族元素的气氛的炉，其包括衬里材料或反射材料，所述衬里材料或反射材料带有玻璃陶瓷基底，所述玻璃陶瓷基底具有红外线反射层，所述红外线反射层包括氮化钛，其中，在所述红外线反射层上布置有屏障层作为防氧化保护和防腐蚀性化学侵蚀保护，其中，所述红外线反射层与所述屏障层在800和2000nm之间的波长范围内的反射率之比平均大于2。