光学镜组镜面间隙测量装置和测量方法

摘要

一种光学镜组镜面间隙测量装置和测量方法，包括：低相干光源、激光测长光源、红光指示光源、第一光纤耦合器、第二光纤耦合器、第三光纤耦合器、第一光纤环形器、第二光纤环形器、第一光纤准直器、电机驱动移动平台、可移动扫描反射镜、第二光纤准直器、四维调整架、可调焦准直器、待测镜组、安装架、光纤后向反射镜、光电探测器、平衡光电探测器、连接光纤。本发明通过平衡差分测量的方法，同时利用耦合器的两路输出，去除本底干扰信号，使干涉信号强度增大一倍，可用于光学镜组的高精度装调。

主权项

一种光学镜组镜面间隙测量装置，为马赫‑曾德干涉仪结构，特征在于包括：低相干光源(1)、激光测长光源(2)、红光指示光源(3)、第一光纤耦合器(4)、第二光纤耦合器(5)、第三光纤耦合器(6)、第一光纤环形器(7)、第二光纤环形器(8)、延迟扫描臂(9)、第一光纤准直器(901)、电机驱动移动平台(902)、可移动扫描反射镜(903)、第二光纤准直器(904)、四维调整架(10)、可调焦准直器(11)、测量臂(12)、待测光学镜组(1201)、安装架(1202)、光纤后向反射镜(13)、光电探测器(14)、平衡光电探测器(15)和连接光纤(16)；所述的低相干光源(1)的输出端与第一光纤耦合器(4)第一端口(端口Ⅰ)相连接，所述的第一光纤环形器(7)的第一端口(端口Ⅰ)和所述的第二光纤环形器(8)的第一端口(端口Ⅰ)分别与所述的第一光纤耦合器(4)第三端口(端口Ⅲ)和第四端口(端口Ⅳ)相连接；所述的延迟扫描臂(9)的第一光纤准直器(901)的输入端与所述的第一光纤环形器(7)的第二端口(端口Ⅱ)相连接；所述的光纤后向反射镜(13)的输入端和所述的延迟扫描臂(9)的第二光纤准直器(904)的输入端分别与所述的第三光纤耦合器(6)的第一端口(端口Ⅰ)和第二端口(端口Ⅱ)相连接；所述的激光测长光源(2)的输出端和所述的光电探测器(14)的输入端分别与所述的第三光纤耦合器(6)第三端口(端口Ⅲ)和第四端口(端口Ⅳ)相连接；所述的可调焦准直器(11)固定在所述的四维调整架(10)上，所述的指示光源(3)的输出端与所述的可调焦准直器(11)输入端相连接；所述的第一光纤环形器(7)的第三端口(端口Ⅲ)和所述的第二光纤环形器(8)的第三端口(端口Ⅲ)分别与所述的第二光纤耦合器(5)第一端口(端口Ⅰ)和第二端口(端口Ⅱ)相连接；所述的平衡光电探测器(15)的两个输入端与所述的第二光纤耦合器(5)第三端口(端口Ⅲ)和第四端口(端口Ⅳ)相连接。