一种镀PVD复合防菌膜的方法

摘要

一种镀PVD复合防菌膜的方法，采用磁控溅射技术，使Ag靶材电离成纳米银，均匀的分布在TiN薄膜上起到防菌的作用；工件在两个加工区域分别成膜，可以防止TiN薄膜的生成过程中N₂和Ag反应，使Ag失活而失去防菌效果。

主权项

一种镀PVD复合防菌膜的方法，其特征是：包括如下步骤：1）将工件表面洗净，脱去氧化膜，放入真空炉内，抽真空，升温；2）启动Ti弧靶，注入Ar，在工件表面沉积Ti基础薄膜，将真空炉内平均分隔为第一加工区域和第二加工区域；3）在第一加工区域启动Ti弧靶，同时注入Ar和N₂，使工件表面沉积TiN薄膜，关闭Ti弧靶；4）在第二加工区域启动Ag弧靶，注入Ar，使Ag均匀沉积到TiN薄膜上，关闭Ag弧靶；5）真空炉内停止注入Ar和N₂，工件旋转90～180度，旋转过程中真空炉内抽气至真空；6）重复步骤3）～5），直至工件表面沉积均匀的含Ag的TiN薄膜。