一种内热式多级连续真空炉

摘要

本实用新型公开了一种内热式多级连续真空炉，包括电柱、坩埚、水冷却壁、炉壳，炉壳下方连接有真空泵抽管，真空泵抽管两侧安装有水冷电极,炉壳一侧上方连接有进水口，另一侧下方连接有出水口，炉壳上方安装有观察口,炉壳内部设置有冷却罩,冷却罩内部设置有隔热罩,隔热罩内部安装有坩埚,坩埚内部安装有电柱,坩埚底部固定有盛料器，炉壳前方端口安装有炉门。有益效果在于：该设备采用了一种模糊整定PID参数控制器，通过对真空炉温度控制系统的优化，有效降低了温度突变区域，改善了炉温均匀性，保证产品质量。

主权项

一种内热式多级连续真空炉，其特征在于：包括电柱、坩埚、水冷却壁、炉壳，炉壳下方连接有真空泵抽管，真空泵抽管两侧安装有水冷电极,炉壳一侧上方连接有进水口，另一侧下方连接有出水口，炉壳上方安装有观察口,炉壳内部设置有冷却罩,冷却罩内部设置有隔热罩,隔热罩内部安装有坩埚,坩埚内部安装有电柱,坩埚底部固定有盛料器，炉壳前方端口安装有炉门。