气体导气管

摘要

本实用新型涉及一种气体导气管，用于炉管中为晶舟提供气体，所述气体导气管包括管体，所述管体具有相对的进气端和末端，所述管体的管壁上沿着所述进气端至所述末端开设有贯通的通气孔，所述通气孔间的间距从所述进气端至所述末端逐渐减小。采用在通气管管体的管壁开设从进气端至末端间距逐渐减小的通气孔，实现从通气孔出来的气体的浓度相同，进而使得晶舟上晶圆形成的膜的性质及厚度均一致，解决了现有技术中由于气体浓度不同导致的晶片间扩散或沉积膜厚不一致的问题。

主权项

一种气体导气管，用于炉管中为晶舟提供气体，其特征在于，所述气体导气管包括管体，所述管体具有相对的进气端和末端，所述管体的管壁上沿着所述进气端至所述末端开设有贯通的通气孔，所述通气孔间的间距从所述进气端至所述末端逐渐减小。