一种LPCVD工艺腔加热系统

摘要

本发明公开了一种LPCVD工艺腔加热系统，具体地讲是一种适用于薄膜电池对TCO超白浮法平板玻璃加热的LPCVD工艺腔加热系统。其包括控制系统、加热部件、被加热体三部分；其中，被加热体为加热板；加热部件包括四根加热丝，加热丝嵌入到加热板中；控制系统包括四个温控器和四个固态继电器，四个温控器分别对应四根加热丝，每个温控器与对应的固态继电器通过两根控制线连接，固态继电器的输出端与加热丝连接。本发明具有加热板温度易控、加热温度精度高、加热均匀、镀膜均匀、成品率高的特点。

主权项

一种LPCVD工艺腔加热系统，包括控制系统、加热部件、被加热体三部分；其中，被加热体为加热板(1)；加热部件包括四根加热丝(2)，加热丝(2)嵌入到加热板(1)中；控制系统包括四个温控器(3)和四个固态继电器(4)，四个温控器(3)分别对应四根加热丝(2)，每个温控器(3)与对应的固态继电器(4)通过两根控制线连接，固态继电器(4)的输出端与加热丝(2)连接；其特征在于所述加热丝(2)中三个加热丝(2)嵌入在加热板(1)下表面，一个加热丝(2)嵌入在加热板(1)上表面的边缘条。