微小型中红外光波导气体传感器

摘要

本发明公开了一种微小型中红外光波导气体传感器，包括气室、入气孔、排气孔、进光孔、出光孔以及光波导；入气孔和排气孔均设置于气室顶端，进光孔和出光孔分别设置于气室相对的两个侧壁上，光波导包括基底和芯层，基底设置于气室底端，芯层设置于基底上并采用分段式结构，进光孔、芯层以及出光孔位于同一直线上。本发明采用分段式光波导结构，并以硫系玻璃作为光波导芯层材料，性能稳定，灵敏度高，体积小，易于集成化、规模化，抗电磁干扰能力强，具有很强的实际应用价值。

主权项

一种微小型中红外光波导气体传感器，其特征在于，包括气室(1)、入气孔(2)、排气孔(3)、进光孔(4)、出光孔(5)以及光波导；所述入气孔(2)和排气孔(3)均设置于气室(1)顶端；所述进光孔(4)和出光孔(5)分别设置于气室(1)相对的两个侧壁上；所述光波导包括基底(6)和芯层(7)，所述基底(6)设置于气室(1)底端，所述芯层(7)设置于基底(6)上并采用分段式结构；所述进光孔(4)、芯层(7)以及出光孔(5)位于同一直线上。