保护剂图案的形成方法及保护剂图案形成用组合物

摘要

一种保护剂图案的形成方法，其特征在于，其为使用至少含有室温下为液态的聚合性单体、有机胶凝剂和光聚合引发剂的保护剂图案形成用组合物的保护剂图案的形成方法，其具有下述工序：制备保护剂图案形成用组合物的工序、将所制备的保护剂图案形成用组合物涂布于基板上形成涂膜的工序、使涂膜中的有机胶凝剂凝胶化的工序、和使有机胶凝剂进行了凝胶化的涂膜形成图案的工序。

主权项

一种保护剂图案的形成方法，其特征在于，其使用至少含有室温下为液态的聚合性单体、有机胶凝剂和光聚合引发剂的保护剂图案形成用组合物，所述形成方法具有下述工序：制备所述保护剂图案形成用组合物的工序、将所述制备的保护剂图案形成用组合物涂布于基板上形成涂膜的工序、使所述涂膜中的所述有机胶凝剂凝胶化的工序、和使所述有机胶凝剂进行了凝胶化的所述涂膜形成图案的工序。