发明名称 一种硅片数控多线切割机
摘要 本实用新型公开了一种硅片数控多线切割机,涉及硅片加工设备技术领域。一种硅片数控多线切割机,包括支架,支架顶端设置第一伺服电机,第一伺服电机输出轴上设置丝杠,丝杠位于第一伺服电机下方,丝杠上安装丝母,丝母两端设置连接杆,支架侧壁上设置凹槽,连接杆一端位于支架侧壁的凹槽内,连接杆另一端设置直轴,直轴位于连接杆下方,直轴底端设置托板,托板底端设置玻璃板,所述玻璃板底端设置硅锭,硅锭与玻璃板底端胶接,硅锭下方设置传动装置。托板底端设置滑槽,滑槽上设置滚花纹,玻璃板位于滑槽内。本实用新型的有益效果是:本装置结构简单,运行平稳,噪声小,切割效率高,切割的硅片表面平整度高,厚度均匀,精度高。
申请公布号 CN205310560U 申请公布日期 2016.06.15
申请号 CN201620101671.1 申请日期 2016.01.31
申请人 济南金锐电子有限公司 发明人 于如远;高培成
分类号 B28D5/04(2006.01)I;B28D7/00(2006.01)I 主分类号 B28D5/04(2006.01)I
代理机构 济南鼎信专利商标代理事务所(普通合伙) 37245 代理人 曹玉琳
主权项 一种硅片数控多线切割机,其特征在于:包括支架(1),所述支架(1)顶端设置第一伺服电机(2),所述第一伺服电机(2)输出轴上设置丝杠(3),所述丝杠位于第一伺服电机(2)下方,所述丝杠(3)上安装丝母(4),所述丝母(4)两端设置连接杆(5),所述支架(1)侧壁上设置凹槽,所述连接杆(5)一端位于支架(1)侧壁的凹槽内,所述连接杆(5)与支架(1)侧壁滑动连接,所述连接杆(5)另一端设置直轴(7),所述直轴(7)位于连接杆(5)下方,所述直轴(7)底端设置托板(8),所述托板(8)底端设置玻璃板(10),所述玻璃板(10)底端设置硅锭(11),所述硅锭(11)与玻璃板(10)底端胶接,所述硅锭(11)下方设置传动装置。
地址 250200 山东省济南市章丘经济开发区汽车工业园兴旺路2号