发明名称 |
烧结提纯炉控制系统 |
摘要 |
本实用新型涉及一种烧结提纯炉控制系统,具有真空室,所述真空室的一个输出端通过高阀与扩散泵的输入端连接,另一个输出端通过预抽阀和罗茨泵的输入端连接;所述罗茨泵的输出端端与机械泵连接;所述扩散泵和罗茨泵之间连接有前级阀;所述真空室上设有第一压力传感器,所述第一压力传感器通过信号与控制器连接。本实用新型的真空炉系统结构简单、使用方便,自动化程度高,本实用新型采用压力传感器可以有效的监控炉内的反应,做到及时有效的监控,保证了设备的安全。 |
申请公布号 |
CN205316977U |
申请公布日期 |
2016.06.15 |
申请号 |
CN201620016568.7 |
申请日期 |
2016.01.07 |
申请人 |
常州瞻驰光电科技有限公司 |
发明人 |
李新华;李超 |
分类号 |
F27B14/20(2006.01)I;F27D19/00(2006.01)I |
主分类号 |
F27B14/20(2006.01)I |
代理机构 |
常州市维益专利事务所 32211 |
代理人 |
王凌霄 |
主权项 |
一种烧结提纯炉控制系统,其特征在于:具有真空室(1),所述真空室(1)的一个输出端通过高阀(9)与扩散泵(2)的输入端连接,另一个输出端通过预抽阀(11)和罗茨泵(3)的输入端连接;所述罗茨泵(3)的输出端与机械泵(4)连接;所述扩散泵(2)和罗茨泵(3)之间连接有前级阀(10);所述真空室(1)上设有第一压力传感器(5),所述第一压力传感器(5)通过信号与中央控制器(8)连接。 |
地址 |
213000 江苏省常州市武进经济开发区腾龙路2号 |