| 发明名称 | 一种新型真空镀膜设备的起弧装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种新型真空镀膜设备的起弧装置，其特征在于：包括支撑杆、伸缩杆和石墨起弧头，所述支撑杆上设有石墨起弧头安装部、限位凸块和两个腰形孔，石墨起弧头安装部设有固定孔，用于固定石墨起弧头；所述伸缩杆设有固定端，并设有与腰形孔相配合的螺栓孔，通过螺栓固定在支撑杆的腰形孔上。本实用新型与现有技术相比的优点是：本实用新型的起弧装置结构灵活，工作性能稳定，较大幅度提高了碳靶的利用效率。 | ||
| 申请公布号 | CN205313658U | 申请公布日期 | 2016.06.15 |
| 申请号 | CN201620059149.1 | 申请日期 | 2016.01.21 |
| 申请人 | 广东耐信镀膜科技有限公司 | 发明人 | 黄裕祥 |
| 分类号 | C23C14/32(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种新型真空镀膜设备的起弧装置，其特征在于：包括支撑杆、伸缩杆和石墨起弧头，所述支撑杆上设有石墨起弧头安装部、限位凸块和两个腰形孔，石墨起弧头安装部设有固定孔，用于固定石墨起弧头；所述伸缩杆设有固定端，并设有与腰形孔相配合的螺栓孔，通过螺栓固定在支撑杆的腰形孔上。 | ||
| 地址 | 511400 广东省广州市广州高新技术产业开发区科学城掬泉路3号广州国际企业孵化器D区D103号房间 | ||