一种装配纳米电子器件的方法

摘要

一种装配纳米电子器件的方法，包括如下步骤：搭建用于装配纳米电子器件的电路系统；高低频交流电源中的高低频电流经过加法器叠加之后经过电键连接微电极对的一端，微电极对的另一端连接滤波电路滤掉不用的高频波段，再经过I/V转换电路将电流信号转换为易于检测的电压信号，并通过A/D转换电路实现A/D转换，最后接入锁相放大器识别出所需信号，同时使用计算机对信号进行监控，并通过对于电键闭合的控制实现智能可控的装配过程；装配数目一定的纳米材料到微电极对上；运用高频超声波能量对装配好的电子器件进行键合。本发明使装配到电子器件上的纳米材料数目可控，同时装配的纳米材料与微电极对接触可靠。

主权项

一种装配纳米电子器件的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一：搭建用于装配纳米电子器件的电路系统；电路系统包括高低频交流电源（1）、加法器（2）、电键（3）、微电极对（4）、滤波电路（5）、I/V转换电路（6）、A/D转换电路（7）、锁相放大器（8）、计算机（9），高低频交流电源（1）中的高低频电流经过加法器（2）叠加之后经过电键（3）连接微电极对（4）的一端，微电极对（4）的另一端连接滤波电路（5）滤掉不用的高频波段，再经过I/V转换电路（6）将电流信号转换为易于检测的电压信号，并通过A/D转换电路（7）实现A/D转换，最后接入锁相放大器（8）识别出所需信号，同时使用计算机（9）对信号进行监控，并通过对于电键闭合的控制实现智能可控的装配过程；步骤二：装配数目一定的纳米材料到微电极对上；步骤三：运用高频超声波能量对装配好的电子器件进行键合。