一种制备非极性面氮化铝材料的工艺方法

摘要

本发明属于材料制备领域，提供一种制备非极性面氮化铝材料的工艺方法，主要通过控制生长温度以及生长装置中坩埚顶与坩埚体的温度差，实现高质量非极性面氮化铝材料的制备。具体制备过程包括：(1)物料预处理对氮化铝物料在氮气气氛中进行高温烧结预处理；(2)升温阶段在氮气气氛中，以预处理后的物料做氮化铝源，按一定速率进行升温，并保持坩埚顶与坩埚体有一定的温度差；(3)保温阶段升温至合适的生长温度后，调整坩埚顶与坩埚体之间的温度差，进入保温阶段，通过物料升华制备氮化铝；(4)降温阶段保温一段时间后，再次调整坩埚顶与坩埚体之间的温度差，然后开始降低温度至室温，生长结束。

主权项

一种制备非极性面氮化铝材料的工艺方法，包括如下步骤：(1)对氮化铝物料在氮气气氛中进行高温烧结预处理；(2)在氮气气氛中，使用经过预处理的氮化铝物料做氮化铝源，按一定速率进行升温，并保持坩埚顶的温度比坩埚体高20～150℃；(3)升温至2250～2350℃的生长温度后，调整坩埚顶与坩埚体之间的温度差，使坩埚顶的温度比坩埚体的低10～200℃，进入保温阶段，通过物料升华制备氮化铝；(4)保温一段时间后，再次调整坩埚顶与坩埚体之间的温度差，使坩埚顶的温度比坩埚体高20～150℃，然后开始降低温度至室温，生长结束。