| 发明名称 | 分离装置及分离方法 | ||
| 摘要 | 一种分离装置及分离方法。分离装置(10)具有分别由多个保持部件(25)保持粘接片(AS)的多个保持单元(20)、使各保持单元(20)移动而对粘接片(AS)赋予张力的张力赋予单元，保持单元(20)通过使多个保持部件(25)在与张力赋予单元使保持单元(20)移动的方向交叉的交叉方向上移动，从而能够对粘接片(AS)在所述交叉方向上赋予张力。 | ||
| 申请公布号 | CN105679694A | 申请公布日期 | 2016.06.15 |
| 申请号 | CN201510883166.7 | 申请日期 | 2015.12.04 |
| 申请人 | 琳得科株式会社 | 发明人 | 河崎仁彦 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/78(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 刘晓迪 |
| 主权项 | 一种分离装置，其对粘接片上的板状部件至少赋予两个方向的张力而将由该板状部件形成的多个片状体的相互间隔扩大，其特征在于，具有：分别由多个保持部件保持所述粘接片的多个保持单元；使所述各保持单元在所述至少两个方向上移动而对所述粘接片赋予张力的张力赋予单元，所述保持单元通过使所述保持部件在与所述张力赋予单元使所述保持单元移动的方向交叉的交叉方向上移动，从而能够对所述粘接片在所述交叉方向上赋予张力。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||