一种氮氟共掺杂氧化锌薄膜的制备方法

摘要

本发明涉及氮氟共掺杂氧化锌薄膜的制备方法，可有效解决提高氧化锌薄膜的导电性和透射率的问题，方法是，将锌靶和玻璃基底分别置于磁控溅射设备真空室内的阴极上和样品台中，待真空室的真空度≤5.0×10^-4Pa后，先通入溅射气体氩气，除去锌靶表面的杂物，然后通入氧气和氮氟气混合成的反应气体，在入射功率为100～600W、压强0.5～2 Pa、玻璃衬底温度100～400℃下，溅射20～50min，得到氮氟掺杂氧化锌薄膜，在温度150～500℃下退火20～90min，得成品氮氟共掺杂氧化锌薄膜；本发明方法简单，易操作，成本低，效果好，产品质量好，有效提高了氧化锌薄膜的导电性和透射率，增强了使用价值和商业价值。

主权项

一种氮氟共掺杂氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于，将锌靶和玻璃基底分别置于磁控溅射设备真空室内的阴极上和样品台中，待真空室的真空度≤5.0×10^‑4Pa后，先通入溅射气体氩气，除去锌靶表面的杂物，然后通入氧气和氮氟气混合成的反应气体，在入射功率为100～600W、压强0.5～2 Pa、玻璃衬底温度100～400℃下，溅射20～50min，得到氮氟掺杂氧化锌薄膜，在温度150～500℃下退火20～90min，得成品氮氟共掺杂氧化锌薄膜；所述的氩气、氧气、氮氟混合气的通入量的体积比为(21～24)∶(12～15) ∶(7～10)；所述的氮氟混合气中氮气与氟气的体积比(90～99)∶ (1～10)。