发明名称 Streulichtreferenzpixel
摘要 Vorrichtung (1) zum Bestimmen einer Intensität und/oder einer Phase einer Intensitätsmodulation eines intensitätsmodulierten elektromagnetischen Strahlungssignals (2) mit einem Detektor (3), wobei der Detektor (3) eine Pixelmatrix (5) aufweist, und einer Abbildungsoptik (7) zum Abbilden eines intensitätsmodulierten Strahlungssignals (2) auf den Detektor (3), wobei die Abbildungsoptik (7) im Betrieb mit dem abgebildeten intensitätsmodulierten Strahlungssignal (2) einen Abbildungsabschnitt (16) des Detektors (3) ausleuchtet und wobei die Pixelmatrix (5) zumindest abschnittsweise innerhalb des Abbildungsabschnitts (16) des Detektors (3) angeordnet ist und eine Mehrzahl von Pixeln (6) aufweist, die so eingerichtet sind, dass sie im Betrieb Messwerte für das intensitätsmodulierte Strahlungssignal (2) erfassen, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung (1) mindestens ein Streulichtreferenzpixel (10) aufweist, das außerhalb des Abbildungsabschnitts (16) des Detektors (3) angeordnet und so eingerichtet ist, dass es im Betrieb Messwerte für ein intensitätsmoduliertes Streulichtsignal (9) erfasst, und eine Bestimmungseinrichtung, die so eingerichtet ist, dass sie im Betrieb Messwerte von mindestens einem Pixel (6) der Pixelmatrix (5) innerhalb des Abbildungsabschnitts (16) als einen ersten Dateneingang und Messwerte von mindestens einem Streulichtreferenzpixel (10) als einen zweiten Dateneingang so verarbeitet, dass sie in einem ersten Bestimmungsschritt aus dem ersten Dateneingang eine Intensität für das intensitätsmodulierte Strahlungssignal (2) und/oder eine relative Phase zwischen der Intensitätsmodulation des intensitätsmodulierten Strahlungssignals (2) und einem Referenzsignal mindestens für das Pixel (6) innerhalb des Abbildungsabschnitts (16) und aus dem zweiten Dateneingang eine Intensität des intensitätsmodulierten Streulichtsignals (9) und/oder eine relative Phase zwischen der Intensitätsmodulation des intensitätsmodulierten Streulichtsignals (9) und dem Referenzsignal mindestens für das Streulichtreferenzpixel (10) bestimmt und in einem zweiten Bestimmungsschritt die Bestimmungsergebnisse des ersten Bestimmungsschritts so miteinander verrechnet, dass die Bestimmungseinrichtung eine korrigierte Intensität des intensitätsmodulierten Strahlungssignals (2) und/oder eine korrigierte relative Phase zwischen der Intensitätsmodulation des intensitätsmodulierten Strahlungssignals (2) und einem Referenzsignal mindestens für das Pixel (6) innerhalb des Abbildungsabschnitts (16) bestimmt und als einen Datenausgang bereitstellt, ...
申请公布号 DE102013109020(B4) 申请公布日期 2016.06.09
申请号 DE201310109020 申请日期 2013.08.21
申请人 PMDTechnologies GmbH 发明人 Lange, Robert;Albrecht, Martin
分类号 G01J9/00;G01J1/42;H01L27/146 主分类号 G01J9/00
代理机构 代理人
主权项
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