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Bereitgestellt wird eine multifunktionelle, mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung, die einen Strahl mit einer geringen Aberration neigen kann. Die Korrektur der Aberration erfolgt, indem mittels z. B. eines Mehrpols oder paralleler Stromleitungen ein lokaler Divergenzbereich gebildet wird, eine Strahlachse durch eine normale rotationssymmetrische Linse, einen Ablenker und einen Astigmatismuskompensator auf den lokalen Divergenzbereich abgestimmt wird, und eine Gegenreaktion zu einer Aberration, die ein anderes rotationssymmetrisches Konvexlinsenfeld erzeugt, ausgelöst wird. |
