黑硅电池片及其制备方法及黑硅光伏组件

摘要

本发明的提供一种黑硅电池片的制备方法及其制得的黑硅电池片及包括该黑硅电池片的黑硅光伏组件，在黑硅电池片的表面形成周期性减反射结构，绒面面结构规则，黑硅电池片的反射率低，制得的黑硅光伏组件的CTM高。一种黑硅电池片的制备方法，依次包括如下步骤：S1、用酸溶液对硅片制绒；S2、在所述硅片的表面上形成一层掩膜，所述掩膜具有若干等间隔分布的掩膜单元，各所述掩膜单元包括若干均匀排列的掩模图形；S3、选择性地对所述硅片进行RIE干法制绒；S4、去除掩膜。

主权项

一种黑硅电池片的制备方法，其特征在于，依次包括如下步骤：S1、用酸溶液对硅片制绒；S2、在所述硅片的表面上形成一层掩膜，所述掩膜具有若干等间隔分布的掩膜单元，各所述掩膜单元包括若干均匀排列的掩模图形；S3、选择性地对所述硅片进行RIE干法制绒；S4、去除掩膜。