| 摘要 |
본 발명은 높은 정밀도의 얼라인먼트를 행할 수 있는, 실용성이 우수한 얼라인먼트 방법의 제공을 과제로 한다. 기판(12)과 마스크(11)의 얼라인먼트를 행할 때, 촬상 배율이 낮은 제1 촬상부(13)에서 촬상한 촬상 데이터를 이용하여 촬상 배율이 높은 제2 촬상부(14)를 위치 결정하고, 이 제2 촬상부(14)의 촬상 범위를 기준으로 하여, 제1 촬상부(13)에서 촬상한 촬상 데이터를 이용하여 행하는 제1 얼라인먼트 공정과 제2 촬상부(14)에서 촬상한 촬상 데이터를 이용하여 행하는 제2 얼라인먼트 공정의 2단계로 기판(12)과 마스크(11)의 위치 보정을 행한다. |
