利用压印法的聚酰亚胺的精细图案形成方法

摘要

提供与光刻法及激光加工等以往的聚酰亚胺加工技术相比，加工形状及其尺寸精度优异、且简便的聚酰亚胺的图案形成方法。在聚酰亚胺的精细图案形成中，作为聚酰亚胺，使用具有感光性的、能够在玻璃转变温度以下成形的溶剂可溶性的聚酰亚胺树脂组合物，并利用热压印法而图案化，并在热固化的方法中，在成形工序后从模具脱模之后，照射紫外线。

主权项

一种聚酰亚胺的精细图案形成方法，在利用热压印法的聚酰亚胺的精细图案形成方法中，其特征在于，使用具有感光性的、能够在玻璃转变温度以下成形的溶剂可溶性聚酰亚胺的树脂组合物，并在使所述溶剂可溶性聚酰亚胺的树脂组合物从模具脱模后、且热固化之前，照射紫外线。