多功能离子枪

摘要

本发明公开了一种多功能离子枪，包括电离室、第一透镜、第二透镜、第一偏转板、第二偏转板、狭缝、四通法兰、过渡法兰和锥形圆筒，所述电离室、第一透镜和第一偏转板位于四通法兰的管道内，且第一透镜位于电离室和第一偏转板之间，所述第一偏转板安装在过渡法兰的近端，电离室安装在过渡法兰的远端，第二透镜、第二偏转板和狭缝位于锥形圆筒内，第二偏转板位于第二透镜和狭缝之间，且第二透镜安装在过渡法兰的近端，狭缝安装在过渡法兰的远端，所述四通法兰和锥形圆筒通过过渡法兰连接。以达到结构紧凑、功能多样、性能稳定且增强离子束传输距离的目的。

主权项

一种多功能离子枪，包括电离室、第一透镜、第二透镜、第一偏转板、第二偏转板、狭缝、四通法兰、过渡法兰和锥形圆筒，其特征在于，所述电离室、第一透镜和第一偏转板位于四通法兰的管道内，且第一透镜位于电离室和第一偏转板之间，所述第一偏转板安装在过渡法兰的近端，电离室安装在过渡法兰的远端，第二透镜、第二偏转板和狭缝位于锥形圆筒内，第二偏转板位于第二透镜和狭缝之间，且第二透镜安装在过渡法兰的近端，狭缝安装在过渡法兰的远端，所述四通法兰和锥形圆筒通过过渡法兰连接。