AuNPs-PDMS复合微薄膜生物传感器的制备方法

摘要

本发明公开一种AuNPs（纳米金）-PDMS（聚二甲基硅氧烷）复合微薄膜表面应力生物传感器的制备方法。具体以PDMS薄膜为基底，使用氯金酸溶液为第一步还原剂进行还原以生成金种。利用膜上已经生成的金种，以葡萄糖和碳酸氢钾作为辅助还原剂，使用氯金酸对复合膜进行第二步还原。利用AuNPs-PDMS复合薄膜作为传感器的敏感元件，PDMS为衬底，采用溅射工艺制备传感器的金电极，完成传感器的制备。本发明所述方法生成的AuNPs-PDMS复合薄膜电导性有明显改善，从而使传感器灵敏度得到提高。而且制作方法简单，为实现微型化、低成本、批量化生产提供了可能。

主权项

一种AuNPs‑PDMS复合微薄膜生物传感器的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：（一）、清洗玻璃片（2），并用三甲基氯硅烷TMCS对玻璃片进行硅烷化处理，备用；（二）、制备PDMS溶液；（三）、在备好玻璃片（2）的上表面旋涂PDMS溶液，固化后形成PDMS薄膜（1）；（四）、将步骤（三）所得玻璃片浸泡在HAuCl₄溶液中20～24小时，进行第一次还原；（五）、用HAuCl₄溶液、葡萄糖溶液和碳酸氢钾溶液配置还原液，将步骤（四）所得玻璃片浸泡在还原液中20～24小时，进行第二次还原；（六）、制备PDMS溶液，然后利用PDMS溶液及模具制备出传感器基底（5），所述传感器基底（5）的上表面中部形成有凹腔（6）；（七）在传感器基底（5）上表面的凹腔（6）周围涂PDMS溶液，将步骤（五）所得玻璃片上的PDMS薄膜从玻璃片上揭下来，贴在传感器基底（5）的上表面、且完全遮盖凹腔（6）；（八）在传感器基底（5）的上表面溅射金属薄膜；（九）在金属薄膜上旋涂光刻胶，曝光和显影光刻胶后，湿法腐蚀金属薄膜，去光刻胶后，形成两个独立的电极结构，两个独立电极结构呈对称分布，所述电极结构包括底电极（10）和与其连接的引线电极（11），所述底电极（10）位于传感器基底（5）上表面的PDMS薄膜边缘上，所述引线电极（11）位于传感器基底（5）上表面。