MONITORING THIN FILM DEPOSITION

摘要

박막 증착을 모니터링하기 위한 시스템이 개시된다. 상기 시스템은 변조된 신호를 발생하도록 석영 크리스탈 및 합성기를 포함한다. 상기 변조된 신호는 상기 석영 크리스탈을 통해 접지된다. 상기 시스템은 또한 박막 증착을 모니터링하기 위해 상기 석영 크리스탈로부터 상기 변조된 신호의 위상을 결정하도록 위상 검출기를 포함한다. 공진에서 상기 신호의 고 주파수가 크리스탈 주파수와 일치되도록 변조 인덱스가 선택될 수 있다.