一种基板表面清洁装置

摘要

一种基板表面清洁装置，包括光电传感器、光电传感器放大器、电磁阀、喷气装置、传输滚轮和传输轨道，所述喷气装置，包括气管、喷气口和压缩干燥空气产生装置，所述传输轨道上安装有光电传感器、传动滚轮和喷气口，所述光电传感器通过信号线与光电传感器放大器的输入端连接，所述光电传感器放大器通过信号线与电磁阀连接，所述电磁阀安装在气管上，所述气管连接压缩干燥空气产生装置，所述气管的另一端连接有喷气口。本实用新型结构简单、紧凑、合理，通过光电传感器感应到基板，将信号反馈到电磁阀，使得压缩空气打开，通过管路流到金属管，从而压缩空气气流吹在基板上，吹掉上面的异物质，保证基板上的清洁度。

主权项

一种基板表面清洁装置，包括光电传感器、光电传感器放大器、电磁阀、喷气装置、传输滚轮和传输轨道，所述喷气装置，包括气管、喷气口和压缩干燥空气产生装置，所述传输轨道上安装有光电传感器、传动滚轮和喷气口，所述光电传感器通过信号线与光电传感器放大器的输入端连接，所述光电传感器放大器通过信号线与电磁阀连接，所述电磁阀安装在气管上，所述气管连接压缩干燥空气产生装置，所述气管的另一端连接有喷气口。