发明名称 加工装置
摘要 本发明提供加工装置,其具备:可旋转地配设的旋转工作台;在旋转工作台上配设于正多边形的顶点位置并具备保持面的五个卡盘工作台;贯穿旋转工作台的开口地竖立设置的支承座;四个加工构件支承机构,其包括在旋转工作台周围分别竖立设置于正方形的角部的第一支承柱、竖立设置于支承座上的第二支承柱、以及安装在第一支承柱和第二支承柱的支承部件;与至少五个卡盘工作台中的四个卡盘工作台对应地配设于四个加工构件支承机构的四个加工构件;使四个加工构件分别在与卡盘工作台的保持面垂直的方向移动的四个加工进给构件;以及在将四个卡盘工作台定位于四个加工进给构件的加工区域的状态下,相对于余下的卡盘工作台搬入搬出被加工物的搬入搬出区域。
申请公布号 CN102441838B 申请公布日期 2016.06.08
申请号 CN201110306476.4 申请日期 2011.10.11
申请人 株式会社迪思科 发明人 山中聪;力石利康;高田畅行
分类号 B24B37/00(2012.01)I;H01L21/304(2006.01)I 主分类号 B24B37/00(2012.01)I
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人 党晓林;王小东
主权项 一种加工装置,其特征在于,该加工装置具备:旋转工作台,所述旋转工作台以能够旋转的方式配设,并在中心部具有开口;至少五个卡盘工作台,所述至少五个卡盘工作台在所述旋转工作台上配设于正多边形的顶点的位置,并具备保持被加工物的保持面;支承座,所述支承座以贯穿插入所述旋转工作台的所述开口的方式竖立设置;四个加工构件支承机构,所述四个加工构件支承机构包括在所述旋转工作台的周围分别竖立设置于正方形的角部的四个第一支承柱、竖立设置于所述支承座上的四个第二支承柱、以及安装在各个所述第一支承柱和各个所述第二支承柱的四个支承部件;四个加工构件,所述四个加工构件与至少五个卡盘工作台中的四个卡盘工作台对应地配设于构成所述四个加工构件支承机构的各个支承部件上;四个加工进给构件,所述四个加工进给构件使所述四个加工构件分别在相对于卡盘工作台的保持面垂直的方向移动;以及搬入搬出区域,在使所述旋转工作台转动而将所述四个卡盘工作台定位于利用所述四个加工构件进行加工的加工区域的状态下,在所述搬入搬出区域将被加工物相对于余下的卡盘工作台搬入、搬出。
地址 日本东京都