等离子体处理装置

摘要

本发明提供一种等离子体处理装置，包括：阳极电极；阴极电极，在与阳极电极相向的面具有设置着开口部的贯通孔；气体供给装置，对阳极电极与阴极电极间导入工艺气体；以及交流电源，对阳极电极与阴极电极间供给交流电力，在阳极电极与阴极电极间使工艺气体成为等离子体状态。

主权项

一种等离子体处理装置，其特征在于，包括：阳极电极，安装基板；阴极电极，以与所述阳极电极相向的方式而配置，在相向的面具有设置着开口部的贯通孔，在所述阴极电极的设置着所述开口部的两面分别相向地配置着所述阳极电极；气体供给装置，对所述阳极电极与所述阴极电极间导入工艺气体；以及交流电源，对所述阳极电极与所述阴极电极间供给交流电力，在所述阳极电极与所述阴极电极间使所述工艺气体成为等离子体状态，并且在所述阴极电极横跨所述两面的所述贯通孔的内部形成等离子体生成为空心阴极放电，且经由所述贯通孔的内部所形成的所述空心阴极放电，在所述阴极电极的所述两面确保了所述等离子体的连续性。