| 发明名称 | 碳纳米管薄膜晶体管及其制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种碳纳米管薄膜晶体管及其制作方法。其中，该碳纳米管薄膜晶体管包括：源极和漏极；对应所述源极和所述漏极之间的沟道区域间隔设置的多个带状凸起，所述多个凸起沿所述沟道的宽度方向依次排列，所述凸起沿所述沟道的长度方向延伸；以及设置在所述多个凸起及相邻凸起之间的间隔区域上的碳纳米管层。通过本发明，可以使网络状碳纳米管在薄膜晶体管中排布更加有序，达到了提高网络状碳纳米管薄膜晶体管的性能的效果。 | ||
| 申请公布号 | CN105655406A | 申请公布日期 | 2016.06.08 |
| 申请号 | CN201610115033.X | 申请日期 | 2016.03.01 |
| 申请人 | 京东方科技集团股份有限公司;北京大学 | 发明人 | 梁学磊;惠官宝;田博元;张方振;赵海燕;夏继业;严秋平;彭练矛 |
| 分类号 | H01L29/786(2006.01)I;H01L29/43(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I | 主分类号 | H01L29/786(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人 | 许静;黄灿 |
| 主权项 | 一种碳纳米管薄膜晶体管，其特征在于，包括：源极和漏极；对应所述源极和所述漏极之间的沟道区域间隔设置的多个带状凸起，所述多个凸起沿所述沟道的宽度方向依次排列，所述凸起沿所述沟道的长度方向延伸；以及设置在所述多个凸起及相邻凸起之间的间隔区域上的碳纳米管层。 | ||
| 地址 | 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 | ||