一种沉积炉测温装置

摘要

本实用新型公开了一种沉积炉测温装置，包括沉积炉、盖板、固定套、第一密封座、第一压盖、氮气喷气管、第二密封座、第二压盖、热电偶，工作时，沉积剂随氮气通过喷气接头进入氮气喷气管，含有沉积剂的氮气通过设置于分气盘上的分气孔均匀的喷向沉积炉进行沉积反应，由于氮气喷气管与第一压盖间隙相连且与第一密封座间隙相连以及热电偶与第二压盖间隙相连且与第二密封座间隙相连，使得氮气喷气管与热电偶拆装方便快捷，同时由于第一密封圈和第二密封圈的密封作用，有效防止外界空气与沉积炉内空气进行气体交换，提高分子筛品质。该装置结构简单，氮气喷气管与热电偶拆装方便快捷，且密封效果好，有效提高分子筛品质。

主权项

一种沉积炉测温装置，包括沉积炉、盖板，其特征在于还包括固定套、第一密封座、第一压盖、氮气喷气管、第二密封座、第二压盖、热电偶，所述的固定套贯穿盖板，所述的固定套与盖板焊接相连，所述的第一密封座位于固定套顶部，所述的第一密封座与固定套焊接相连，所述的第一压盖位于第一密封座上端，所述的第一压盖与第一密封座螺纹相连，所述的氮气喷气管贯穿第一压盖且贯穿第一密封座，所述的氮气喷气管与第一压盖间隙相连且与第一密封座间隙相连，所述的第二密封座位于氮气喷气管顶部，所述的第二密封座与氮气喷气管焊接相连，所述的第二压盖位于第二密封座上端，所述的第二压盖与第二密封座螺纹相连，所述的热电偶贯穿第二压盖且贯穿第二密封座，所述的热电偶与第二压盖间隙相连且与第二密封座间隙相连。