一种载晶台体传动装置及其装配、操作方法

摘要

本发明涉及一种载晶台体传动装置及其装配、操作方法，具有旋转台、载晶台、谐波传动减速装置、电机、电机连接架以及底架，其中旋转台连接于底架上，旋转台的一侧安装有电机连接架，电机连接架中安装有电机，电机的输出轴通过谐波传动减速装置连接载晶台保持架，载晶台保持架上设有载晶台及晶体位置调整机构。本发明采用谐波传动减速装置，载晶台传动平稳，噪声小，传递的扭矩增大，结构简单，减速比大，传动效率高，转台运动精度高，回差小，甚至可以实现无回差传动；寿命长，无冲击，无噪音，维修方便，便于保养、检查和更换零件；采用中空结构，方便走线，避免当线外露运动时造成线段缠绕和信号干扰等的情况发生。

主权项

一种载晶台体传动装置，其特征在于：具有旋转台(1)、载晶台(2)、谐波传动减速装置(3)、电机(4)、电机连接架(5)以及底架(19)，其中旋转台(1)连接于底架(19)上，旋转台(1)的一侧安装有电机连接架(5)，电机连接架(5)中安装有电机(4)，电机(4)的输出轴通过谐波传动减速装置连接载晶台保持架(13)，载晶台保持架(13)上设有载晶台(2)及晶体位置调整机构；所述晶体位置调整机构包括左右滑动机构(12)、前后滑动机构(11)以及上下调节装置，其中左右滑动机构(12)通过左右方向设置的第一燕尾槽滑动连接于槽内，左右滑动机构(12)的滑块上方具有前后方向设置的第二燕尾槽，前后滑动机构(11)与第二燕尾槽滑动连接；前后滑动机构(11)上通过上下调节装置安装载晶台指针(9)。