底层涂料组合物及制造微电子器件的方法

摘要

本发明涉及包括聚合物的底层涂料组合物，其中该聚合物包含在该聚合物主链中的至少一个具有包含氟或碘部分的侧基的羟基芳香族单元和至少一个包含氨基塑料的单元。本发明还涉及使用该组合物形成图像的方法，尤其用于EUV。

主权项

底层涂料组合物，其包含聚合物，其中该聚合物包含在该聚合物主链中的至少一个包含氟或碘部分的羟基芳香族单元，和至少一个包含氨基塑料的单元，其中具有氟部分的羟基芳香族单元具有结构(1)：其中R₁为氟部分，R₂为氟部分，和R₃选自碘部分、氟部分、羟基、(C₁‑C₄)烷基、羟基(C₁‑C₄)烷基、OC₁‑C₄烷基、(C＝O)(C₁‑C₄)烷基、C₁‑C₄烷基O(C₁‑C₄)烷基、C₁‑C₄烷基(C＝O)(C₁‑C₄)烷基和C(O)O(C₁‑C₄)烷基；以及R₂和R₃相连形成与苯酚稠合的羟基芳香环。