电子显微镜

摘要

本发明提供一种电子显微镜，提高限制视场光阑的位置调整作业中的作业性。在电子显微镜中，具备：摄影单元，其拍摄限制视场光阑插入前的观察视场作为映射图像；存储单元，其存储所述映射图像；提取单元，其拍摄所述光阑插入后的观察视场来提取所述光阑的轮廓线；绘制单元，其在所述映射图像上绘制所述轮廓线；以及显示单元，其显示由所述绘制单元绘制出的图像。

主权项

一种电子显微镜，具有：照射透镜系统，其向观察对象物照射电子射线；物镜系统，其对焦于所述观察对象物；检测装置，其检测来自所述观察对象物的响应；成像透镜系统，其使所述观察对象物映现在所述检测装置上的大小为指定的大小；限制机构，其对映现在成像装置上的观察对象物的区域进行限制；运算装置，其进行各种运算；以及显示装置，其显示由所述运算装置制作出的图像或者由所述检测装置检测出的图像，该电子显微镜还具备：第一检测单元，其通过所述检测装置检测未被所述限制机构限制所述观察对象物的观察范围的图像；存储单元，其存储由所述第一检测单元检测出的图像；第二检测单元，其通过所述检测装置检测被所述限制机构限制了所述观察对象物的观察范围的图像；提取单元，其从由所述第二检测单元检测出的图像提取所述限制机构的轮廓线；绘制单元，其在由所述第一检测单元拍摄到的图像上绘制由所述提取单元提取出的轮廓线；以及显示单元，其显示由所述绘制单元绘制出的图像。