发明名称 |
一种基于水蒸气检测功能的真空干燥箱 |
摘要 |
本发明公开了一种基于水蒸气检测功能的真空干燥箱,该真空干燥箱的内部安装有ZnO基湿敏传感器模块;该ZnO基湿敏传感器模块的湿敏敏感元件部分为采用硅纳米孔柱材料为基底,氧化锌纳米线结合石墨烯材料为敏感材料制成,器件结构为叉指电极型,该结构具有极大的比表面积与良好的气体扩散通道,另外在真空干燥箱的内部表层设置脱湿的聚乙烯醇-乙二胺四甲叉磷酸-聚砜基膜中空纤维复合膜组件,大大提高了真空干燥箱的湿度感应,吸湿和防腐蚀功能。 |
申请公布号 |
CN105651012A |
申请公布日期 |
2016.06.08 |
申请号 |
CN201610064960.3 |
申请日期 |
2016.01.29 |
申请人 |
蔡权 |
发明人 |
蔡权 |
分类号 |
F26B9/06(2006.01)I;F26B5/04(2006.01)I;G01N27/22(2006.01)I;B01D71/38(2006.01)I;B01D69/08(2006.01)I;B01D67/00(2006.01)I |
主分类号 |
F26B9/06(2006.01)I |
代理机构 |
北京高航知识产权代理有限公司 11530 |
代理人 |
李浩 |
主权项 |
一种基于水蒸气检测功能的真空干燥箱,其特征在于:所述真空干燥箱(1)的内部安装有ZnO基湿敏传感器模块(2);所述ZnO基湿敏传感器模块(2)主要由湿敏敏感元件和数据读取元件组成,所述湿敏敏感元件为叉指电极型,包括硅片衬底(10)、Si‐NPA(20)、氧化锌纳米线(30)和石墨烯层(40);所述真空干燥箱(1)上还设置有微处理器、LED显示灯条和无线通信模块;所述微处理器的输入端与所述ZnO湿敏传感器模块(2)的输出端连接,所述ZnO湿敏传感器模块(2)检测值达到预设值,所述微处理器控制LED显示灯条发出闪光,所述LED显示灯条连接有一个蜂鸣器,LED显示灯条闪烁的同时触动蜂鸣器发出警报;所述无线通信模块为CC2420无线通信模块,所述ZnO湿敏传感器模块(2)可通过所述CC2420无线通信模块发送检测数据至数据基站,移动用户终端可通过互联网查看检测结果或将检测数据上传至云存储中心,形成检测和监测网络;所述真空干燥箱(1)的内部还设置有一个用于脱湿的聚乙烯醇‐乙二胺四甲叉磷酸‐聚砜基膜中空纤维复合膜组件,该膜组件将聚乙烯醇‐乙二胺四甲叉磷酸‐聚砜基膜中空纤维复合膜固定在玻璃电极上,玻璃电极与湿敏传感器连接;所述氧化锌纳米线(30)长度约3μm。 |
地址 |
315200 浙江省宁波市镇海区隧道北路555号 |