大口径取样光栅取样率的测试装置及测试方法

摘要

本发明涉及一种大口径取样光栅取样率的测试装置及测试方法，该大口径取样光栅取样率的测试装置包括激光器、分束镜、第一积分球功率计、第二积分球功率计、用于对大口径取样光栅进行扫描的二维扫描镜组以及控制与采集处理系统；分束镜设置于激光器的出射光路上；第一积分球功率计置于经分束镜的透射光路上；二维扫描镜组置于经分束镜的反射光路上；第二积分球功率计置于经二维扫描镜组后透过被测取样光栅的-1级衍射光路上；第一积分球功率计以及第二积分球功率计分别与控制与采集处理系统相连。本发明提供了一种可解决大口径取样光栅取样率的测试问题，并很好的保证了测试精度的大口径取样光栅取样率的测试装置及测试方法。

主权项

一种用于实现大口径取样光栅取样率的测试装置的大口径取样光栅取样率的测试方法，所述大口径取样光栅取样率的测试装置包括激光器、分束镜、第一积分球功率计、第二积分球功率计、用于对大口径取样光栅进行扫描的二维扫描镜组以及控制与采集处理系统；所述分束镜设置于激光器的出射光路上；所述第一积分球功率计置于经分束镜的透射光路上；所述二维扫描镜组置于经分束镜的反射光路上；所述第二积分球功率计置于经二维扫描镜组后透过被测取样光栅的‑1级衍射光路上；所述第一积分球功率计以及第二积分球功率计分别与控制与采集处理系统相连；所述大口径取样光栅取样率的测试装置还包括设置于激光器和分束镜之间的平行光管；所述大口径取样光栅取样率的测试装置还包括设置于激光器和平行光管之间的耦合器；所述大口径取样光栅取样率的测试装置还包括设置于平行光管出瞳口的光阑；所述平行光管是宽波段离轴反射式平行光管；所述光阑是用于减少激光衍射效应的软变光阑；所述大口径取样光栅取样率的测试装置还包括用于控制二维扫描镜组并与二维扫描镜组刚性连接的电控平移台；其特征在于：所述大口径取样光栅取样率的测试方法包括以下步骤：1)通过第一积分球功率计获取入射到取样光栅的激光功率：2)通过二维扫描镜组使激光器对大口径取样光栅进行垂直扫描，并通过第二积分球功率计获取被测取样光栅‑1级衍射处的实时功率；3)取步骤2)所得到的被测取样光栅‑1级衍射处的激光功率与步骤1)所得的取样光栅的主光束激光功率的比值得到大口径取样光栅取样率。