一种基于PVDF薄膜的生物传感器阵列及其制作方法

摘要

本发明公开了一种基于PVDF薄膜的生物传感器阵列，自上到下依次包括第一有机玻璃、PVDF压电膜及第二有机玻璃，第一有机玻璃、PVDF压电膜及第二有机玻璃固定连接，PVDF压电膜的上表面及下表面均镀有若干镀膜区，所述镀膜区包括电极、接线膜区、以及用于连通电极及接线膜区的过渡膜区，PVDF压电膜上表面的电极正对PVDF压电膜下表面对应的电极，第一有机玻璃上及第二有机玻璃上均开设有若干对通孔，每对通孔均包括第一通孔及第二通孔，每对通孔上的第一通孔及第二通孔分别正对对应镀膜区上的电极及接线膜区，接线膜区上连接有测试引线。本发明还提供了一种基于PVDF薄膜的生物传感器阵列的制作方法，该生物传感器阵列稳定性好，灵敏度高。

主权项

一种基于PVDF薄膜的生物传感器阵列，其特征在于，自上到下依次包括第一有机玻璃(1)、PVDF压电膜(2)及第二有机玻璃(3)，第一有机玻璃(1)、PVDF压电膜(2)及第二有机玻璃(3)固定连接，PVDF压电膜(2)的上表面及下表面均镀有若干镀膜区，所述镀膜区包括电极、接线膜区、以及用于连通电极及接线膜区的过渡膜区，PVDF压电膜(2)上表面的电极正对PVDF压电膜(2)下表面对应的电极，第一有机玻璃(1)上及第二有机玻璃(3)上均开设有若干对通孔，每对通孔均包括第一通孔及第二通孔，每对通孔上的第一通孔及第二通孔分别正对对应镀膜区上的电极及接线膜区，接线膜区上连接有测试引线。