发明名称 |
一种提高闪存存储性能的方法和装置 |
摘要 |
本发明提供了一种提高闪存存储性能的方法和装置,以解决在提高闪存存储性能的同时,影响擦除速度的问题。所述方法包括:将待注入到闪存的浮栅中的离子划分为多份;将划分后的多份离子分多次注入到所述浮栅中,以使所述浮栅中的离子浓度呈现梯度分布;使用所述浓度呈现梯度分布的离子吸附所述浮栅中充入的电子。本发明将待注入到闪存的浮栅中的离子划分为多份,将划分后的多份离子分多次注入到浮栅中,以使浮栅中的离子浓度呈现梯度分布,浓度呈现梯度分布的离子使浮栅中形成固有的内电场,增加了吸附浮栅中充入的电子的能力,而且,没有改变浮栅周边绝缘层的厚度,对闪存的擦除性能没有造成影响。 |
申请公布号 |
CN105655245A |
申请公布日期 |
2016.06.08 |
申请号 |
CN201410641700.9 |
申请日期 |
2014.11.13 |
申请人 |
北京兆易创新科技股份有限公司 |
发明人 |
魏征;冯骏 |
分类号 |
H01L21/28(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L29/788(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/28(2006.01)I |
代理机构 |
北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 |
代理人 |
苏培华 |
主权项 |
一种提高闪存存储性能的方法,其特征在于,包括:将待注入到闪存的浮栅中的离子划分为多份;将划分后的多份离子分多次注入到所述浮栅中,以使所述浮栅中的离子浓度呈现梯度分布;使用所述浓度呈现梯度分布的离子吸附所述浮栅中充入的电子。 |
地址 |
100083 北京市海淀区学院路30号科大天工大厦A座12层 |