CVD共形真空/抽吸引导设计

摘要

本公开涉及CVD共形真空/抽吸引导设计和用于引导室内的气流的引导元件。引导元件包括结构、一个或多个入口、出口和传输区。一个或多个入口形成在结构的第一侧上。入口具有根据去除速率选择的入口尺寸，以减轻室内的气流变化。出口位于与结构的第一侧相对的结构的第二侧上。出口具有根据去除速率选择的出口尺寸。传输区在结构内，并将入口耦合或连接至出口。

主权项

一种用于引导室内的气流的引导元件，所述引导元件包括：结构；一个或多个入口，形成在所述结构的第一侧上，所述入口具有根据去除速率选择的入口尺寸以减轻气流变化；一个出口，形成在所述结构的第二侧上，并具有根据所述去除速率选择的出口尺寸，其中，所述第二侧位于所述结构的底部上；以及传输区，在所述结构内，并连接至所述入口和所述出口，其中，所述出口与室出口端匹配或对应，并且其中，所述出口直接位于所述一个或多个入口中的一个的下方，所述出口和所述入口之间为直线型路径，所述引导元件还包括围绕所述出口的密封件，所述引导元件的至少一部分覆盖所述室出口端，并且所述出口的尺寸小于所述室出口端的尺寸。