位置确定装置和方法、平版印刷设备及物品制造方法

摘要

本发明涉及位置确定装置和方法、平版印刷设备及物品制造方法。一种位置确定装置包括被配置为向旋转基板的边缘部分发射光的第一发光单元和被配置为向基板表面上的至少一个标记发射光的第二发光单元。对准装置还包括被设置在与基板表面对应的一侧并且被配置为接收从第一发光单元发射并然后穿过基板外侧的区域的光并且接收从第二发光单元发射并然后从至少一个标记反射的光的光接收单元。基于光接收单元的光接收的结果确定基板的位置。

主权项

一种位置确定装置，其特征在于，包括：第一发光单元，被配置为向基板的边缘部分发射光；第二发光单元，被配置为向基板表面上的至少一个标记发射光；光接收单元，被设置在基板表面侧，并且被配置为接收从第一发光单元发射并然后穿过基板外侧的区域的光并且接收从第二发光单元发射并然后从所述至少一个标记反射的光；以及确定单元，被配置为基于光接收单元的光接收的结果确定基板的位置。