| 发明名称 | 防尘薄膜组件框架以及使用该防尘薄膜组件框架的防尘薄膜组件 | ||
| 摘要 | 一种易于制造以及处理的同时，在将防尘薄膜组件贴附于光掩模的时，可以将曝光中保持水平的光掩模的形状的变动抑制到很小的防尘薄膜组件框架以及使用该防尘薄膜组件框架的防尘薄膜组件。所述防尘薄膜组件框架，具有长边和短边的矩形，其特征在于，对至少一对的边赋予形变，该形变的大小，在所述的一对边的部，与防尘膜面垂直的方向上，为所述边的边长的0.01～1％。 | ||
| 申请公布号 | CN105652587A | 申请公布日期 | 2016.06.08 |
| 申请号 | CN201510802587.2 | 申请日期 | 2015.11.19 |
| 申请人 | 信越化学工业株式会社 | 发明人 | 関原一敏 |
| 分类号 | G03F1/62(2012.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F1/62(2012.01)I |
| 代理机构 | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人 | 王勇;李科 |
| 主权项 | 一种防尘薄膜组件框架，其为具有长边和短边的矩形，其特征在于：对至少一对的边上赋予形变，该形变的大小，在所述的一对边的中央部，与防尘膜面垂直的方向上，为所述边的边长的0.01～1％。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||