发明名称 成膜方法及び成膜装置
摘要
申请公布号 JP5932448(B2) 申请公布日期 2016.06.08
申请号 JP20120090079 申请日期 2012.04.11
申请人 キヤノン株式会社 发明人 星野 和弘
分类号 C23C14/08 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人
主权项
地址