发明名称 化合物半導体装置及びその製造方法
摘要
申请公布号 JP5932368(B2) 申请公布日期 2016.06.08
申请号 JP20120015515 申请日期 2012.01.27
申请人 トランスフォーム・ジャパン株式会社 发明人 宮本 真人;温井 健司;小谷 義之
分类号 H01L21/338;H01L21/336;H01L29/423;H01L29/778;H01L29/78;H01L29/812 主分类号 H01L21/338
代理机构 代理人
主权项
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