用于电子器件制造的万用部件升降装置、组件及方法

摘要

兹描述一种用于移动电子器件制造系统的部件的万用部件升降装置。所述万用部件升降装置包含：轨道；台车，所述台车可沿着所述轨道移动；以及升降装置，所述升降装置适于耦接于所述台车，所述升降装置包含轮件基座、升降部、以及悬臂，所述悬臂适于耦接于所述部件。正如许多其它方面一样，兹描述移动电子器件制造系统的部件的电子器件处理系统与方法。

主权项

一种部件升降组件，所述部件升降组件包括：一个或多个轨道；一个或多个台车，所述台车为沿着所述一个或多个轨道可移动的；以及一个或多个升降装置，所述升降装置适于耦接于所述一个或多个台车，所述一个或多个升降装置包含轮件基座、升降部、以及悬臂，所述悬臂适于耦接于部件。