发明名称 |
一种测试样品的制备方法 |
摘要 |
综上所述,本发明提供一种测试样品的制备方法,应用于电性失效分析中,将一芯片固定在基座上,并通过银胶将芯片上的若干个Pad和基座上的导电胶带相连,特别对于四个以上Pad需要连接后进行电性测试分析的样品,具有易操作、耗时极短、成本低等特点,从而可以大大降低电性失效分析的周期,为提高产品质量和可靠性提供帮助。 |
申请公布号 |
CN103887150B |
申请公布日期 |
2016.06.08 |
申请号 |
CN201410106589.3 |
申请日期 |
2014.03.20 |
申请人 |
上海华力微电子有限公司 |
发明人 |
陈强 |
分类号 |
H01L21/02(2006.01)I;G01R31/26(2014.01)I |
主分类号 |
H01L21/02(2006.01)I |
代理机构 |
上海申新律师事务所 31272 |
代理人 |
吴俊 |
主权项 |
一种测试样品的制备方法,应用于电性失效分析中,其特征在于,所述方法包括:S1:提供一设置有若干引脚的芯片;S2:将所述芯片固定在一基板的上表面;S3:在所述芯片周围的基板上表面设置至少2条导电胶带;S4:在所述芯片上表面全覆盖一有机层;S5:选出若干待测引脚,并分别将若干所述待测引脚上方的有机层去除,形成若干涂覆区;S6:将一导电银胶涂覆在若干所述涂覆区和相对应的导电胶带的上表面,使所述若干待测引脚和相对应的导电胶带均导电连通;S7:在所述芯片上方再次覆盖一有机层;S8:从剩余的若干引脚中,再次选出若干待测引脚,并分别将该若干待测引脚上方的所有有机层去除,再次形成若干涂覆区;S9:将一导电银胶涂覆在S8中形成的涂覆区和相对应的导电胶带的上表面,使在S8中选出的待测引脚和相对应的导电胶带导电连通;S10:当导电胶带的数量等于2时,测试样品制备完成;当导电胶带的数量大于2时,重复S7、S8、S9直至每条所述导电胶带都与相对应待测引脚导电连通,完成测试样品的制备。 |
地址 |
201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号 |