发明名称 鳍型装置系统和方法
摘要 本发明揭示一种鳍型装置系统和方法。在特定实施例中,揭示一种制造晶体管的方法,其包含在具有表面的衬底内形成晶体管的栅极,以及在所述衬底内形成内埋氧化物BOX层,所述BOX层在第一BOX层面处邻近于所述栅极。所述方法还包含形成凸起的源极-漏极通道(“鳍”),其中所述鳍的至少一部分从所述衬底的所述表面延伸,且其中所述鳍具有邻近于所述BOX层的第二BOX层面的第一鳍面。
申请公布号 CN105655336A 申请公布日期 2016.06.08
申请号 CN201610006469.5 申请日期 2010.09.01
申请人 高通股份有限公司 发明人 宋森秋;穆罕默德·哈桑·阿布-拉赫马;韩秉莫
分类号 H01L27/108(2006.01)I;H01L29/78(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I 主分类号 H01L27/108(2006.01)I
代理机构 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人 宋献涛
主权项 一种制造晶体管的方法,所述方法包括:在具有表面的衬底内形成晶体管的栅极;在所述衬底内形成内埋氧化物BOX层,所述BOX层在第一BOX层面处邻近于所述栅极;以及形成凸起的源极‑漏极通道,即鳍,其中所述鳍的至少一部分从所述衬底的所述表面延伸,且其中所述鳍具有邻近于所述BOX层的第二BOX层面的第一鳍面。
地址 美国加利福尼亚州