发明名称 |
鳍型装置系统和方法 |
摘要 |
本发明揭示一种鳍型装置系统和方法。在特定实施例中,揭示一种制造晶体管的方法,其包含在具有表面的衬底内形成晶体管的栅极,以及在所述衬底内形成内埋氧化物BOX层,所述BOX层在第一BOX层面处邻近于所述栅极。所述方法还包含形成凸起的源极-漏极通道(“鳍”),其中所述鳍的至少一部分从所述衬底的所述表面延伸,且其中所述鳍具有邻近于所述BOX层的第二BOX层面的第一鳍面。 |
申请公布号 |
CN105655336A |
申请公布日期 |
2016.06.08 |
申请号 |
CN201610006469.5 |
申请日期 |
2010.09.01 |
申请人 |
高通股份有限公司 |
发明人 |
宋森秋;穆罕默德·哈桑·阿布-拉赫马;韩秉莫 |
分类号 |
H01L27/108(2006.01)I;H01L29/78(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/108(2006.01)I |
代理机构 |
北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 |
代理人 |
宋献涛 |
主权项 |
一种制造晶体管的方法,所述方法包括:在具有表面的衬底内形成晶体管的栅极;在所述衬底内形成内埋氧化物BOX层,所述BOX层在第一BOX层面处邻近于所述栅极;以及形成凸起的源极‑漏极通道,即鳍,其中所述鳍的至少一部分从所述衬底的所述表面延伸,且其中所述鳍具有邻近于所述BOX层的第二BOX层面的第一鳍面。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |