发明名称 |
多光斑收集光学器件 |
摘要 |
一种用于检测从物体上的光斑阵列发射的光辐射的装置。装置包括数个光导,所述光导具有各个输入端和输出端,其中输入端以几何形状排序。 |
申请公布号 |
CN103597336B |
申请公布日期 |
2016.06.08 |
申请号 |
CN201280024070.X |
申请日期 |
2012.05.02 |
申请人 |
应用材料以色列公司;卡尔蔡司SMT有限公司 |
发明人 |
H·埃德;N·埃尔马利阿;I·克拉维茨;M·米策尔 |
分类号 |
G01N21/63(2006.01)I;G01N23/22(2006.01)I |
主分类号 |
G01N21/63(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 31100 |
代理人 |
陆嘉 |
主权项 |
一种用于检测从物体上的光斑阵列发射的光辐射的装置,所述装置包含:数个光导,所述光导具有各个输入端和输出端,其中所述输入端以对应于所述光斑阵列的几何布置排序;中继光学器件,配置以收集来自所述物体上的所述光斑阵列的所述光辐射并将所述光辐射聚焦到所述输入端上,以使得每一输入端接收来自相应一个光斑的所述光辐射;多个检测器,各检测器耦合以接收来自光导的分别一个光导的各个输出端的所述光辐射;和对准单元,所述对准单元被配置以监控所述光斑阵列的间距和旋转角的变化,以及响应于检测到所述变化,产生指示所述数个光导与所述光斑阵列对准的信号。 |
地址 |
以色列瑞哈佛特市 |