用于在涂覆工艺中钝化柔性基板的装置和方法

摘要

一种用于钝化柔性基板的涂层的装置包括涂敷腔室、腔室分隔元件、涂敷滚筒和进气口，所述涂敷腔室用于涂敷柔性基板，所述腔室分隔元件设置用于分隔所述涂敷腔室与另一腔室，所述涂敷滚筒和所述腔室分隔元件形成一缝隙，所述进气口设置在所述腔室分隔元件内，用于供应氧气进入所述缝隙内。

主权项

一种用于钝化柔性基板的涂层的装置，包含：涂敷腔室，所述涂敷腔室用于涂敷所述柔性基板；绕线腔室，用于缠绕所述柔性基板；腔室分隔元件，所述腔室分隔元件设置用于分隔所述涂敷腔室与所述绕线腔室；和涂敷滚筒，所述涂敷滚筒和所述腔室分隔元件形成缝隙；进气口，所述进气口设置在所述腔室分隔元件内，用于以朝向所述涂敷腔室的方向供应氧气进入所述缝隙，其中，所述腔室分隔元件设置在所述涂敷滚筒的出口侧，其中，所述进气口设置在腔室分隔元件内，更靠近所述涂敷腔室而非所述绕线腔室。