低噪声、高稳定性、深紫外光的连续波激光

摘要

一种用于产生深紫外光DUV的连续波CW光的激光包含二次谐波产生器及四次谐波产生器。所述四次谐波产生器包含多个镜以及第一及第二非线性光学NLO晶体。所述第一NLO晶体产生具有四次谐波波长的光，且经放置而与所述多个镜成操作关系。所述第二NLO晶体经放置而与所述第一NLO晶体成操作关系，使得具有二次谐波波长的光穿过所述第一NLO晶体及所述第二NLO晶体两者。注意，所述第二NLO晶体的第二光学轴围绕所述第二NLO晶体内光的传播方向相对于所述第一NLO晶体的第一光学轴旋转约90度。所述第二NLO晶体不提供波长转换。

主权项

一种用于产生深紫外光DUV的连续波CW光的激光，所述激光包括：二次谐波产生器，其用于将具有基波长的光转换为具有二次谐波波长的光；及四次谐波产生器，其用于将具有所述二次谐波波长的所述光转换为具有四次谐波波长的光，所述四次谐波产生器包含：多个镜；第一非线性光学NLO晶体，其用于产生具有所述四次谐波波长的所述光，所述第一NLO晶体与所述多个镜成操作关系；及第二NLO晶体，其与所述第一NLO晶体成操作关系，使得具有所述二次谐波波长的所述光穿过所述第一NLO晶体及所述第二NLO晶体两者，所述第二NLO晶体的第二光学轴围绕所述第二NLO晶体内具有所述二次谐波波长的所述光的传播方向相对于所述第一NLO晶体的第一光学轴旋转约90度，所述第二NLO晶体不提供波长转换。